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Plasma Wet Scrubber CREO-04
Plasma Wet Scrubber CREO-04
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- 반도체와 OLED,LED 제조공정에서 사용되는 유해한 공정GAS를 고온 DC Thermal Plasma Flame 이용하여 완벽하게 분해시키고 처리하는 장비입니다.
- (주)에프엠에스시스템스의 CREO-04 Plasma Scrubber는 Si반도체, SiC반도체,OLED제조공정에서 사용되는 폭발성,·부식성·독성가스 뿐만 아니라,지구 온실 가스인 PFCs(CF4,NF3,WF6등)계 GAS를 완전 분해 처리가능 합니다.
| Model | CREO-04 (반도체, LED) |
| TYPE | Plasma Wet |
| Dimension(mm) | 800 x 900 x 1750 |
| Capacity | 400 lpm |
| Weight | 560 kg |
| Inlet | NW40 X 4 Ports |
| Outlet | MF100 X 1Port |
| Drain | Power Pumping Drain |
상세정보
Utility 사양 (Utility Specification)
| Sortation | Part Name | 배관 SIZE” | Material |
| GAS | GN2 | 3/8” | SUS |
| CDA | 3/8” | SUS | |
| WATER | PCW IN | 3/8” | SUS |
| PCW OUT | 3/8” | SUS | |
| CITY WATER | 1/2” | SUS | |
| EXHAUST | EXHAUST OUT | MF100 or MF125 | SUS |
| USER GAS | INLET | NW40 | SUS |
| OUTLET | MF100 or MF125 | SUS | |
| CABINET VENT | NW100 | SUS | |
| DRAIN | POWER | 1” | CPVC |
