이에프에스시스템즈
07 |
(주)온세미 컨턱터에 Plasma Wet Scrubber Parts 공급 시작.
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06 |
Plasma Wet Scrubber(CREO-04) 제조 및 Test 완료.
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04 |
기술 연구소 및 Plasma Wet Scrubber 제조 사업장 설립
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03 |
주식회사 이에프시스템즈 설립.
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11 |
Solar Cell용 Plasma Wet Scrubber 개발 완료(용량:1,500 lpm)
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08 |
Plasma Wet Scrubber 전문회사인 (주)쏠츠 와 Plasma Wet Scrubber 사업부 인수,합병 완료
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04 |
(주)온세미 컨덕터에 SiC CVD공정에 3 sets 납품
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